?? ?? (ZnO) ? ?? ? ? GaN ?? (?? ? LED) ? ? ? ?? ? 60mev ? ??? ?? ?? ? ? ? ? 3. 73ev ? ?? ? ?? ? ??? ?? ? ???? ?? ?? ? ? ? ? ??. ?? ?? ? ? ?? ? ?? ?? ?? ? ?? ?? ? ? ? ??? ?? ? ? ? ? ?? ? ?? - ?? ? ? ?? ? ?? ? ??.? ? ?? ??? ? ??? ???, ? ?? ? ? ? ? ?? ? ??, ??? 5GHz ?? ? ?? ??, ? ? ?? ??, ?? ? ??? ?? ??, ? ? ?? ??, ?? ? ??? ?? ?? ? ?? ?? ?? ? ? ? ?? ? ?? ??.
?? ?
?? ?
?? ??
??
?? ?? ?? (? 197)
5, 3, 2, 5, 3.
??.
< 0001 >, < 11 - 20 >, < 10 - 10 > ± 0.5, ? 186
?? (mm)
25 × 25 × 0.5, 10 × 10 × 0.5, 10 × 5 × 0.5, 5 × 5 × 0.5
?? ? ?? ? ?? ?? ?? ? ??? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?.
?? ? ??.
?? ?, ? ? ? ?? ?? ?
?? ? ? ?
Surface rouness (Ra): <
?? ??? (AFM) ?? ?? ? ? ?? ? ? ?.
?? ? ??
?? (g / cm3)
5.7.
?? (mohs)
?
?? ? (℃)
1975.
??? ?? (/ ℃)
6.5 x 10 - 6 / a, 3.7 x 10 - 6 / c
?? ? (Cal / g / ℃)
0.1.
??? ?? (?? ?? / k)
1200 @ 300 ℃
??? (cal / cm / k)
0.006
?? ? ? ? ?
0.4 - 0.6 ? > 50% ? 2mm
?? ? ?.
100 ?? ? ? ?, 1000 ?? ? ??
氧化锌(ZnO)是很好的GaN薄膜(蓝光LED)衬底材料,具有60mev的激子束缚能以及室温下3.73ev带隙使之成为紫外以及可见光发光材料.同时由于具有可见区透明,机电耦合系数大,能使气体分子在其表面的吸附-解析等性质,有望在高峰值能量的能量限制器、大直径高质量的GaN的衬底、未来的5GHz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用.
生长方法
|
水热法
|
晶体结构
|
六方
|
晶格常数(?)
|
a=3.252 c=5.313
|
晶向
|
<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5o
|
尺寸(mm)
|
25×25×0.5、10×10×0.5、10×5×0.5、5×5×0.5
|
可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底
|
抛光
|
单抛片、双抛片或切割片
|
表面粗糙度
|
Surface roughness(Ra):<=5?
|
可提供原子粒显微镜(AFM)检测报告
|
物理性质
|
密度(g/cm3)
|
5.7
|
硬度(mohs)
|
4
|
熔点(℃)
|
1975
|
热膨胀系数(/℃)
|
6.5 x 10-6 //a, 3.7 x 10-6 //c
|
比热容(Cal/g /℃)
|
0.125
|
热电常数(mv/k)
|
1200 @ 300℃
|
热导(cal/cm/k)
|
0.006
|
透过范围
|
0.4-0.6 um > 50% at 2mm
|
包装
|
100级洁净袋,1000级超净室
|